Ni PVD স্পুটারিং লেপ প্ল্যান্ট, Cr ভ্যাকুয়াম মেটালাইজিং সিস্টেম, Sn/Ag ভ্যাকুয়াম প্লেটিং সরঞ্জাম, কপার প্লেটিং প্ল্যান্ট
সরঞ্জাম কাঠামো:
RTAC1215-SP মেশিন একটি অক্টকাল টাইপ, যা ভ্যাকুয়াম পাম্প, ভ্যাকুয়াম চেম্বার যা 8টি আর্ক ক্যাথোড, 1টি রৈখিক আয়ন উৎস, 2টি ডিসি স্পুটারিং ক্যাথোড এবং 1 জোড়া এমএফ স্পাটারিং ক্যাথোডের সমন্বয়ে গঠিত।আয়ন উত্স, স্পুটারিং ক্যাথোড মাউন্ট করা ফ্ল্যাঞ্জগুলি স্ট্যান্ডাইজ করা হয় যা আসলে আবরণ প্রক্রিয়ার চাহিদার উপর ভিত্তি করে নমনীয়ভাবে বিনিময় করা যেতে পারে।
অ্যাপ্লিকেশন:
1. সিরামিক সিলিং যন্ত্রাংশ, ডিপিসি প্রক্রিয়া, কপার পিভিডি স্পুটারিং সিস্টেম, কুপার প্লেটিং সহ এলইডি সিরামিক চিপস, আলের জন্য ডিপিসি শিল্প2ও3, AlN সিরামিক সার্কিট বোর্ড, এলইডিতে Al2O3 প্লেট, সেমিকন্ডাক্টর
2. সিলভার, নি, ক্রোম, গোল্ড, অ্যালুমিনিয়াম, ইন, এসএন ইত্যাদি ধাতব ফিল্ম এবং TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN ইত্যাদি।
সুবিধাদি:
1. খরচ দক্ষ উত্পাদন
2. ওয়ার্ক স্টেশনের মানবীকরণ (ওয়ার্ক স্টেশনের আর্গোনমিক ডিজাইন, স্থান কম করা, শব্দ এবং দুর্ঘটনার ঝুঁকি)
3. উচ্চ মানের ফলন.
4. শক্তিশালী হিটিং-আপ ডিভাইস এবং প্লাজমা উত্স পরিষ্কারের সাথে শক্তিশালী আনুগত্য;
5. কমপ্যাক্ট ডিজাইন এবং আপগ্রেডিং এবং রক্ষণাবেক্ষণ কাজের জন্য সহজ অ্যাক্সেস সহ।
6. সম্পূর্ণ অটোমেশন, PLC+টাচ স্ক্রিন, এক-টাচ কন্ট্রোল সিস্টেম।
7. কম শক্তি খরচ সঙ্গে উচ্চ দক্ষতা, সর্বোচ্চ.50% উৎপাদন খরচ সাশ্রয়।
প্রযুক্তিগত বিবরণ:
1. চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম চাপ: 9.0*10 এর চেয়ে ভাল-5পা;
3. পাম্পিং ডাউন সময়: atm থেকে 1.0×10 পর্যন্ত-3Pa≤15 মিনিট (ঘরের তাপমাত্রা, শুকনো, পরিষ্কার এবং খালি চেম্বার)
4. জমার উত্স: জেনকোয়া ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ক্যাথোড, স্টিয়ারড আর্ক ক্যাথোড, আয়ন উত্স
5. অপারেটিং মডেল: সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়ভাবে/সেমি-অটো/ম্যানুয়ালি
6. গরম করা: ঘরের তাপমাত্রা থেকে সর্বোচ্চ পর্যন্ত।500℃,
9. PECVD এবং PA PVD প্রক্রিয়ার জন্য আয়ন উৎস।
ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনে নীচে তালিকাভুক্ত কী সম্পন্ন সিস্টেম রয়েছে:
1. ভ্যাকুয়াম চেম্বার
1.1 আকার: ভিতরের ব্যাস: 1200 মিমি
অভ্যন্তরীণ উচ্চতা: 1500 মিমি
1.2 উপাদান: ভ্যাকুয়াম চেম্বার SUS304
দরজা এবং flanges SUS304
চেম্বার গঠন শক্তিশালী: SS41 হালকা ইস্পাত, আঁকা সমাপ্তি পৃষ্ঠ চিকিত্সা সঙ্গে.
চেম্বার চ্যাসিস SS41 হালকা ইস্পাত আঁকা সমাপ্তি পৃষ্ঠ চিকিত্সা সঙ্গে.
1.3 চেম্বার শিল্ড: SUS304
1.4 উইন্ডো দেখুন: 2 দরজায়
1.5 ভ্যাকুয়াম চেম্বার ভেন্টিং ভালভ (সাইলেন্সার সহ)
1.6 দরজা: SUS304 উপাদান
2. রাফিং ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম:
তেল রোটারি ভ্যান ভ্যাকুয়াম পাম্প + হোল্ডিং পাম্প
চুম্বকীয়ভাবে সাসপেনশন মলিকুলার পাম্প - 2 সেট
4. বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ এবং অপারেশন সিস্টেম- PLC+ টাচ স্ক্রিন অপারেশন সিস্টেম:
সরবরাহকারীদের:
PLC: মিতসুবিশি + টাচ স্ক্রিন (চীনে তৈরি)
ইলেকট্রনিক উপাদান: SCHNEIDER, OMRON.
নিরাপত্তা সুরক্ষা ব্যবস্থা:অপারেটর এবং সরঞ্জাম (জল, বর্তমান গ্যাস, তাপমাত্রা ইত্যাদি) রক্ষা করার জন্য অসংখ্য নিরাপত্তা ইন্টারলক
আবরণ প্রসেস সিস্টেম: প্রক্রিয়া অটোমেশন এবং নিয়ন্ত্রণ.
4.1 প্রধান সার্কিট: নন-ফিউজ ব্রেকার সুইচ, ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক সুইচ, সিরিজের ধরনে C/T
4.2 পাওয়ার সাপ্লাই: DC/MF স্পুটারিং পাওয়ার + ডিসি আর্ক পাওয়ার + বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই
4.3 জমা নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা
4.4 অপারেশন সিস্টেম: টাচ স্ক্রিন + পিএলসি, রেসিপি নিয়ন্ত্রণ এবং ডেটা লগিং, অটো শাটডাউন, অটো ইভাকুয়েশন, অটো লেপ
4.5 পরিমাপ ব্যবস্থা
ভ্যাকুয়াম প্রেশার : ভ্যাকুয়াম গেজ: পিরানি + পেনিং গেজ + ফুল রেঞ্জ ভ্যাকুয়াম গেজ -- ইউরোপ ব্র্যান্ড
তাপমাত্রা মাপার যন্ত্র: থার্মোকল
MFC: ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক (4 উপায়),
4.6 অ্যালার্ম সিস্টেম: সংকুচিত বায়ুচাপ, শীতল জলের প্রবাহ, ভুল-অপারেশন
4.7 পাওয়ার লোড সূচক: ভোল্টেজ সূচক এবং লোড বর্তমান সূচক
5.জমা ব্যবস্থা
5.1 জমার উত্স: স্পুটারিং ক্যাথোড + আর্ক উত্স + আয়ন উত্স
5.2 জমা উপাদান: তামা, অ্যালুমিনিয়াম, ক্রোম, সিলভার, সোনা, এসএস, টাইটানিয়াম ইত্যাদি।
6.সাব-সিস্টেম
6.1 এয়ার কমপ্রেসড ভালভ কন্ট্রোল সিস্টেম
6.2 কুলিং ওয়াটার সিস্টেম: ওয়াটার ফ্লো পাইপ এবং সুইচ ভালভ সিস্টেম
সংকুচিত বায়ু: 5~8kg/cm2
শীতল জল: জলের তাপমাত্রা: 20~25℃, 200 লিটার/মিনিট,
জল-চাপ: 2 ~ 3 kg/cm2,
পাওয়ার: 3 ফেজ 380V 50Hz(60Hz), 130kVA, গড় পাওয়ার খরচ: 60KW
ইনস্টলেশন এলাকা: (L*W*H)4400*3200*2950mm
নিষ্কাশন: যান্ত্রিক পাম্প জন্য ভেন্ট
আরো স্পেসিফিকেশনের জন্য আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন, রাজকীয় প্রযুক্তি মোট আবরণ সমাধানের সাথে আপনাকে সমর্থন করে।