টিআইএন সোনার ধাতব মিড-ফ্রিকোয়েন্সি ম্যাগনেট্রন স্পুতারিং লেপ মেশিন / এমএফ স্পুতারিং সিস্টেম
ম্যাগনেট্রন স্পটটারিং ভ্যাকুয়াম লেপ এক ধরণের পিভিডি আয়ন প্লাটিং পৃষ্ঠের চিকিত্সা মেনথোড। এটি বিভিন্ন ধরণের উপাদানগুলিতে: ধাতু, গ্লাস, সিরামিক, প্লাস্টিক, ধাতব মিশ্রণ পরিচালনা বা পরিচালনা না করে পরিচালনা করার জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে। স্পটরিং জমার ধারণা: লেপ উপাদান (টার্গেট, এছাড়াও ক্যাথোড নামকরণ করা হয়) এবং কাজের টুকরা (সাবট্রেটস, এছাড়াও anode বলা হয়) ভ্যাকুয়াম চেম্বারে স্থাপন করা হয় এবং চাপ হ্রাস করা হয়। স্পটটারিংটি লক্ষ্যকে ভোল্টেজের ডিফারেনটেইনালের অধীনে রেখে আরগন গ্যাস প্রবর্তন করা হয় যা আর্গন আয়নগুলি (গ্লো স্রাব) গঠন করে। আরগন আয়নগুলি প্রক্রিয়া টার্গেটের দিকে ত্বরান্বিত করে এবং লক্ষ্য পরমাণুগুলি স্থানচ্যুত করে। এই sputtering পরমাণুগুলি তারপর স্তরটিতে ঘনীভূত হয় এবং খুব পাতলা এবং উচ্চ ইউনিফর্ম স্তর গঠন করে। লেপ প্রক্রিয়া চলাকালীন hte sputter gass এ যেমন নাইট্রোজেন, অক্সিজেন বা এসিটিলিন বিক্রিয়াশীল গ্যাসগুলি প্রবর্তন করে বিভিন্ন রঙ অর্জন করা যায়।
ম্যাগনেট্রন স্পুতারিং মডেল: ডিসি স্পুটটারিং, এমএফ স্পুতরিং, আরএফ স্পুতারিং
এমএফ স্পটারিং কী?
ডিসি এবং আরএফ স্পটারিংয়ের সাথে তুলনা করে মিড-ফ্রিকোয়েন্সি স্পটরিং লেপের ব্যাপক উত্পাদন, বিশেষত অপটিক্যাল আবরণ, সৌর প্যানেল, একাধিক স্তর ইত্যাদির মতো পৃষ্ঠগুলিতে ফিল্টার জমা করার জন্য একটি প্রধান পাতলা ফিল্ম স্পটারিং কৌশল হয়ে উঠেছে , যৌগিক উপাদান ফিল্ম ইত্যাদি।
এটি আরএফ স্পটারিংয়ের পরিবর্তে আরও দ্রুত জমানার হারের চেয়ে মেগাহার্টজ-এর চেয়ে কেএইচজেডের সাথে পরিচালিত হওয়ার কারণে এবং ডিসির মতো যৌগিক পাতলা ফিল্ম জমা দেওয়ার সময় টার্গেটের বিষক্রিয়া এড়াতে পারে।
এমএফ স্পটারিং লক্ষ্যমাত্রা সর্বদা দ্বি-সেট দিয়ে উপস্থিত থাকে। দু'টি ক্যাথড এসি কারেন্টের সাথে পিছনে পিছনে স্যুইচ করা হয় যা প্রতিটি বিপরীত দিয়ে লক্ষ্য পৃষ্ঠকে পরিষ্কার করে যা ডাইলেট্রিকগুলিতে চার্জ বর্ধনকে কমিয়ে দেয় যা রক্তরঞ্জনে রক্তপাত করতে পারে এবং অভিন্ন পাতলা ফিল্মের বৃদ্ধি রোধ করতে পারে --- যাকে আমরা টার্গেট পয়জনিং বলে থাকি।
এমএফ স্পটারিং সিস্টেম পারফরম্যান্স
1. চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম চাপ: 5.0 × 10 - 6 টরোর চেয়ে ভাল।
2. অপারেটিং ভ্যাকুয়াম চাপ: 1.0 × 10 - 4 টর।
3. পাম্পডাউন ডাউন সময়: 1 এএম থেকে 1.0 × 10 - 4 টর 3 মিনিট (ঘরের তাপমাত্রা, শুকনো, পরিষ্কার এবং খালি চেম্বার)
৪. ধাতবকরণের উপাদান (স্পটারিং + আর্ক বাষ্পীভবন): নি, কিউ, আগ, আউ, তি, জির, সিআর, টিআইএন, টিআইসি, টিআইএলএন, সিআরএন, সিআরসি ইত্যাদি
৫. অপারেটিং মডেল: সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়ভাবে / আধা-অটো / ম্যানুয়ালি
এমএফ স্পটারিং সিস্টেম স্ট্রাকচার
ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিনে নীচে তালিকাভুক্ত কী সম্পন্ন সিস্টেম রয়েছে:
1. ভ্যাকুয়াম চেম্বার
২. রুহিং ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম (ব্যাক পাম্প প্যাকেজ)
3. উচ্চ ভ্যাকুয়াম পাম্পিং সিস্টেম (চৌম্বকীয়ভাবে সাসপেনশন মলিকুলার পাম্প)
4. বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ এবং অপারেশন সিস্টেম
৫. সহায়তার সুবিধা ব্যবস্থা (সাব সিস্টেম)
Dep. ডিপোজিশন সিস্টেম: এমএফ স্পুটরিং ক্যাথোড, এমএফ পাওয়ার সাপ্লাই, asচ্ছিক জন্য বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই আয়ন উত্স
এমএফ স্পুতারিং সিস্টেম আরটিএসপি 1212-এমএফ স্পেসিফিকেশন
মডেল | RTSP1212-এম এফ | ||||||
প্রযুক্তি | এমএফ ম্যাগনেট্রন স্পটটারিং + আয়ন প্লাটিং | ||||||
উপাদান | স্টেইনলেস স্টিল (S304) | ||||||
চ্যাম্বার সাইজ | Φ1250 * H1250mm | ||||||
চ্যাম্বার টাইপ | সিলিন্ডার, উল্লম্ব, 1-দরজা | ||||||
স্পটারিং সিস্টেম | একচেটিয়াভাবে পাতলা কালো ছায়াছবি জমার জন্য ডিজাইন | ||||||
ডিপোজিশন ম্যাটারিয়াল | অ্যালুমিনিয়াম, সিলভার, কপার, ক্রোম, স্টেইনলেস স্টিল, নিকেল করা | ||||||
ডিপোজিশন উত্স | 2 সেট এমএফ সিলিন্ড্রিকাল স্পটরিং টার্গেট + 8 স্টিরিড ক্যাথোডিক আর্ক উত্স | ||||||
গ্যাস | এমএফসি- 4 টি উপায়, আর, এন 2, ও 2, সি 2 এইচ 2 | ||||||
নিয়ন্ত্রণ | পিএলসি (প্রোগ্রামযোগ্য লজিক নিয়ন্ত্রক) + | ||||||
পাম্প সিস্টেম | SV300B - 1 সেট (লেবোল্ড) | ||||||
WAU1001 - 1 সেট (লেবোল্ড) | |||||||
D60T- 2sets (লেবোল্ড) | |||||||
টার্বো আণবিক পাম্প: 2 * এফ -400 / 3500 | |||||||
প্রাক চিকিত্সা | বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই: 1 * 36 কিলোওয়াট | ||||||
সুরক্ষা ব্যবস্থা | অপারেটরদের সুরক্ষার জন্য অসংখ্য সুরক্ষা ইন্টারলক করে | ||||||
শীতলকারী | ঠান্ডা পানি | ||||||
বিদ্যুৎ বৈদ্যুতিন | 480V / 3 পর্যায় / 60HZ (মার্কিন যুক্তরাষ্ট্রের অনুগত) | ||||||
460V / 3 পর্যায় / 50HZ (এশিয়া অনুগত) | |||||||
380V / 3 পর্যায় / 50HZ (ইইউ-সিই অনুগত) | |||||||
পদাঙ্ক | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
সম্পূর্ণ ওজন | 7.0 টি | ||||||
পদাঙ্ক | (এল * ডাব্লু * এইচ) 5000 * 4000 * 4000 এমএম | ||||||
চক্রাকারে | 30 ~ 40 মিনিট (স্তরীয় উপাদানের উপর নির্ভর করে, স্তর জ্যামিতি এবং পরিবেশগত অবস্থা) | ||||||
পাওয়ার ম্যাক্স .. | 155 কিলোওয়াট | ||||||
গড় শক্তি | 75 কিলোওয়াট |
আমরা আপনার নির্বাচনের জন্য আরও মডেল আছে!
আরও নির্দিষ্টকরণের জন্য দয়া করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন, রয়্যাল টেকনোলজি আপনাকে মোট লেপ সমাধান সরবরাহ করার জন্য সম্মানিত।